阿爾卡特ALCATEL分子泵的3種基本形式

    阿爾卡特ALCA分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走的一種真空泵。分子泵與油封式旋片泵和渦輪式干泵相比，工作環(huán)境更加清潔，而且可以達(dá)到*的真空度。但是，分子泵不能在大氣壓下工作，必須和其他能夠在大氣壓下工作的粗抽真空泵(油封式旋片泵或渦輪式干泵)聯(lián)合使用。分子泵構(gòu)造復(fù)雜、價(jià)格昂貴，高速旋轉(zhuǎn)工作時(shí)會(huì)有振動(dòng)。這種泵具體可分為： 
    1)牽引分子泵：氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動(dòng)量，被驅(qū)送到泵的出口。
    2)渦輪分子泵：靠高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉片和靜止的定葉片相互配合來實(shí)現(xiàn)抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
    3)復(fù)合分子泵：它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來的一種復(fù)合型的分子真空泵。